Algorytm optymalizacji procesu dyfuzji stosowanego w produkcji elementów półprzewodnikowych (PD-1975-04)

View

Resource metadata

Title	Algorytm optymalizacji procesu dyfuzji stosowanego w produkcji elementów półprzewodnikowych (PD-1975-04)
Persons	Authors: Wojciech Mały Partner: Systems Research Institute Polish Academy of Sciences, Warsaw
Description	W rozprawie przedstawiono metodę obliczeniową, która pozwala na uproszczenie projektowania oraz umożliwia sterowanie przebiegiem procesu dyfuzji domieszek do kryształu półprzewodnika. Metoda ta umożliwia obliczenie parametrów predyfuzji i redyfuzji pojedynczego procesu dyfuzji, dla których rozkład wdyfundowanej domieszki we wnętrzu półprzewodnika będzie najbliższy żądaniom konstruktora przyrządu. Użyty opis procesu został skonstruowany tak, że możliwe jest uwzględnianie w nim wpływu, jaki mają na dyfundującą domieszkę wszystkie operacje termiczne, a w tej liczbie również procesy dyfuzji innych domieszek. Opis procesu oraz zastosowany algorytm obliczeń zapewniają dużą szybkość działania całej metody. Uwzględnienie wzajemnych wpływów wszystkich dyfuzji na siebie daje możliwość zautomatyzowania wstępnych prac przy projektowaniu przyrządu. Uzyskana szybkość działania pozwala z kolei na wykorzystanie omawianej tu metody do sterowania całym procesem produkcji przyrządu, poprzez szybką modyfikację parametrów technologicznych kolejnych dyfuzji, dokonywanych na podstawie pomiarów efektów uzyskiwanych w procesach dyfuzji już wykonanych. W pracy dokonano niezbędnych uproszczeń i przybliżeń, aby zakres stosowalności proponowanej metody był możliwe szeroki. Oprócz rozważań teoretycznych w pracy przedstawiono implementację proponowanej metody oraz przykłady numeryczne. (Polish)
Keywords	"proces dyfuzji"@pl, "optimization"@en, "diffusion process"@en, "optymalizacja"@pl, "produkcja półprzewodników"@pl, "semi-conductors production"@en
Classification	Resource type: thesis Scientific discipline: Dziedzina nauk inżynieryjno-technicznych / automatyka, elektronika i elektrotechnika (2018) Destination group: pupils, students, scientists Harmful content: No
Characteristics	Place of creation: Warszawa Creation time: 1975 Number of pages: 217 Supervisor: Kazimierz Malanowski Resource language: Polish
License	CC BY-SA 4.0
Technical information	Submitter: Anna Wasilewska Availability date: 13-01-2023
Collections	Kolekcja Instytutu Badań Systemowych PAN w Warszawie

Citation

Copied

Wojciech Mały. Algorytm optymalizacji procesu dyfuzji stosowanego w produkcji elementów półprzewodnikowych (PD-1975-04). [thesis] Available in Atlas of Open Science Resources, . License: CC BY-SA 4.0, https://creativecommons.org/licenses/by-sa/4.0/legalcode.pl. Date of access: DD.MM.RRRR.

Similar resources

Sterowanie statystycznie optymalne magazynem przy sprawdzaniu zapasów na bieżąco (PD-1972-03)

Zdzisław Sadowski, thesis, Systems Research Institute Polish Academy of Sciences, Warsaw, Dziedzina nauk inżynieryjno-technicznych / informatyka techniczna i telekomunikacja (2018)

Optymalizacja parametryczna z ograniczeniami stanu dla wybranych modeli dynamicznych opisywanych równaniami różniczkowymi cząstkowymi

Krzysztof Piekarski, thesis, Systems Research Institute Polish Academy of Sciences, Warsaw, dziedzina nauk technicznych / automatyka i robotyka (2011)

Optymalizacja czasowo-przestrzennych struktur sieci informacyjnych (PD-1971-03)

Leon Słomiński, thesis, Systems Research Institute Polish Academy of Sciences, Warsaw, Dziedzina nauk inżynieryjno-technicznych / informatyka techniczna i telekomunikacja (2018)

Ku metryce dla układów nieholonomicznych. Część 2 - Planowanie toru

Ignacy Dulęba, article, chapter, Wrocław University of Science and Technology, dziedzina nauk technicznych / automatyka i robotyka (2011)

Analiza i optymalizacja decyzji inwestycyjnych, kapitałowych i innych * Optimization of survival strategy by application of safety dependent utility model (RB-1999-77-02)

Roman Kulikowski, article, chapter, Systems Research Institute Polish Academy of Sciences, Warsaw, Dziedzina nauk społecznych / ekonomia i finanse (2018)

Metoda sekwencyjna programowania liniowego. (PN-1980-02)

Piotr Mazurek, article, chapter, Systems Research Institute Polish Academy of Sciences, Warsaw, Dziedzina nauk ścisłych i przyrodniczych / informatyka (2018)